MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。
常見的MEMS傳感器包括加速度傳感器、壓力傳感器、微機(jī)械陀螺、慣性傳感器等多種用途的傳感器。
MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。
常見的MEMS傳感器包括加速度傳感器、壓力傳感器、微機(jī)械陀螺、慣性傳感器等多種用途的傳感器。
性能指標(biāo)
陀螺儀 | 加速計(jì) | |||
典型值 | 最大值 | 典型值 | 最大值 | |
標(biāo)準(zhǔn)全量程 | 450°/s | - | 50m/s2 | - |
偏差重復(fù)性（1年） | 0.2°/s | 0.5°/s | 0.03m/s2 | 0.05m/s2 |
運(yùn)行偏差穩(wěn)定性 | 10°/h | - | 40 μg | - |
帶寬 (-3 dB) | 415 Hz | 不適用 | 375Hz | 不適用 |
G-敏感度（校準(zhǔn)） | 0.003°/s/g | 0.015°/s/g | 不適用 | 不適用 |
非正交性 | 0.05度 | - | 0.05度 | - |
非線性 | 0.01% FS | - | 0.03% FS | 0.5% FS |
包括慣性測量單元（IMU）和姿態(tài)參考系統(tǒng)（AHRS），已廣泛應(yīng)用于車輛姿態(tài)測量、機(jī)器人控制、無人機(jī)飛控系統(tǒng)、導(dǎo)彈導(dǎo)引頭、通訊衛(wèi)星天線、姿態(tài)控制、慣性導(dǎo)航等多個(gè)領(lǐng)域，部分產(chǎn)品已能夠替代光學(xué)陀螺儀。
